耐腐蝕真空機組的檢測步驟很多，根據被檢測零件的狀態可分為加壓檢漏法、真空檢漏法和其他檢漏法。
　　1.加壓檢漏法：以一定的壓力將檢漏物質填充到被測零件的外部，然后在被測零件上形成一個漏孔，通過一定的步驟或儀器在被測零件內部檢測從漏孔泄漏的檢漏物質，從而判斷漏孔的存在、位置和泄漏率。這就是所謂的加壓檢漏法。
　　2.耐腐蝕真空機組的真空檢漏法：被檢零件和檢漏儀的敏感元件處于真空狀態。如果有泄漏孔，泄漏物質將通過泄漏孔進入被檢零件與敏感元件之間的空間，敏感元件將檢測并顯示泄漏物質，從而能夠判斷泄漏孔的存在和泄漏率的位置。這就是真空檢漏法。
　　3.其他檢漏方法：被檢零件既不加壓也不抽真空，或者其內壓包含在其他檢漏方法中。背壓法是其中一個重要步驟。
　　所謂回壓檢漏法，是利用回壓室將透明氣體從漏孔填充到被測零件中，然后使透明氣體在耐腐蝕真空機組真空狀態下從被測零件中漏出的步驟。在該步驟(或泄漏檢測器)中，檢測泄漏的透明氣體，并確定被測部件的總泄漏率。

小編：Casey